GB/T 30901-2025 高純氟化銨溶液

范圍
本文件規定了高純氟化銨溶液的分類、要求、試驗方法、檢驗規則、標志和隨行文件、包裝、運輸和貯存。
本文件適用于高純氟化銨溶液。
注：該產品主要應用于太陽能光伏電池、集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業。

術語和定義
本文件沒有需要界定的術語和定義。

分子式和相對分子質量
分子式：NH₄F。
相對分子質量：37.04(按2022年國際相對原子質量)。

分類
高純氟化銨溶液按用途分為5個等級：
a) EL級：主要用于太陽能光伏電池及液晶顯示器件等的制造；
b) UP級：主要用于線寬為0.8μm~1.2μm集成電路的清洗與蝕刻；
c) UP-S級：主要用于線寬為0.2μm~0.8μm集成電路的清洗與蝕刻；
d) UP-SS級：主要用于線寬為0.09μm~0.2μm集成電路的清洗與蝕刻；
e) UP-SSS級：主要用于線寬小于0.09μm集成電路的清洗與蝕刻。

要求
外觀：無色透明液體。
高純氟化銨溶液按本文件規定的試驗方法檢測應符合表1的規定。




試驗方法
氟化銨含量的測定
原理
使用電位滴定法測定氟化銨含量，電極與試樣溶液組成一個工作電池，用NaOH標準滴定溶液滴定。在滴定終點附近，氫離子(H⁺)濃度發生突變，引起電極電位的突躍，根據突躍確定滴定終點。

試劑和材料
NaoH標準滴定溶液：c(NaOH)≈1.0mol/L。

儀器設備
自動電位滴定儀：符合 JJG 814-2015 規定的0.1級別要求，并配有復合pH電極。

試驗步驟
在帶蓋的150mL塑料燒杯中加入約60mL水，稱量，用塑料管加入1.5g~2.5g試樣，再稱量，2次稱量均精確至0.0002g，差減計算所稱取試樣的質量。用水沖洗燒杯壁加水至70mL~80mL，將燒杯置于自動電位滴定儀的滴定臺上，將電極和滴定頭浸入液面以下。按儀器操作要求將自動電位滴定儀調試至工作狀態，開啟攪拌并用NaOH標準滴定溶液進行滴定，記錄每個滴定終點消耗NaOH標準滴定溶液的體積。
滴定終點的情況分為以下2種：
a) 出現2個滴定終點時(滴定曲線見示例1)，分別記錄第1滴定終點消耗的體積(V₁)和第2滴定終點消耗的體積(V₂)；
b) 只出現1個滴定終點時(滴定曲線見示例2)，記錄這個滴定終點消耗的體積(V)。
示例1：

示例2：


試驗數據處理
出現2個滴定終點時氟化銨含量的計算
氟化銨含量以氟化銨(NH₄F)的質量分數ω₁計，按公式(1)計算：

式中：
V₂——第2滴定終點所消耗NaoH標準滴定溶液的體積的數值，單位為毫升(mL)；
V₁——第1滴定終點所消耗NaOH標準滴定溶液的體積的數值，單位為毫升(mL)；
c ——NaOH標準滴定溶液濃度的準確數值，單位為摩爾每升(mol/L)；
M ——氟化銨(NH₄F)摩爾質量的數值，單位為克每摩爾(g/mol)(M=37.04)；
m ——試料的質量的數值，單位為克(g)。
取平行測定結果的算術平均值為測定結果，兩次平行測定結果的差值不大于0.1%。
出現1個滴定終點時氟化銨含量的計算
氟化銨含量以氟化銨(NH₄F)的質量分數ω₁計，按公式(2)計算：

式中：
V ——滴定所消耗NaOH標準滴定溶液的體積的數值，單位為毫升(mL)；
c ——NaOH標準滴定溶液濃度的準確數值，單位為摩爾每升(mol/L)；
M ——氟化銨(NH₄F)的摩爾質量的數值，單位為克每摩爾(g/mol)(M=37.04)；
m ——試料的質量的數值，單位為克(g)。
取平行測定結果的算術平均值為測定結果，兩次平行測定結果的差值不大于0.1%。


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